主題：電鏡檢測技術在奈米、能源與生醫材料上之發展與應用
講者：羅聖全博士 工研院材化所研究員
日期：100/04/26
本次演講主題與研究上息息相關，精密儀器的剖析SEM、TEM的介紹，(Scanning Electron
Microscopy,SEM)掃瞄式電子顯微鏡主要用來觀察物體之表面及截面狀態，其影像解析度極高，放大倍率可達數萬倍以上，而傳統光學顯微鏡只有一千五百倍左右，故其能清晰觀察膜材表面及截面結構型態。掃瞄式電子顯微鏡首先由電子槍發射電子束，經電壓加速與電磁透鏡聚焦，使其能聚集成為高能量之電子束而衝撞膜材表面，產生各種訊號如二次電子 (secondary electron)、吸收電子 (absorbed electron)、透射電子 (transmitted electron) 等，這些訊號經由偵測器 (detector) 接收，再由放大器 (amplifier) 加強訊號然後傳送至螢幕上成像，而螢幕上之亮度與對比則依所偵測到的電子訊號強度而改變，因此膜材表面之形貌與特徵，將藉由同步成像之方式一一呈現出來。而（transmission electron microscope,
TEM）並不是以電子打在物體的表面上來顯示其高低起伏的狀況，而是以電子射穿物體，顯示其內部狀態。TEM可解析1 Å小的特徵，前提是標本必須製成厚度不超過1000
Å的切片，如果在研究上能利用這兩種機器的特性來做鑑定將對數據的呈現有極大的幫助。
